日本pureron高過濾精度陶瓷氣體過濾器PGFL系列
日本pureron高過濾精度陶瓷氣體過濾器PGFL系列
高過濾精度、低壓力損失
在保持本公司以往產品PGF系列的高過濾性能的基礎上,實現了低壓力損失。外形尺寸與以往的PGF系列完全相同,處理能力達到了原來的約兩倍。蝕刻和薄膜形成時必不可缺的高選擇性
在追求高選擇性的過程中,極其重要的一點是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實地做到去除不純物,必不可缺的,是在高溫狀態下進行烘烤。從該觀點出發研制出的陶瓷過濾器可進行200℃的高溫烘烤。零維護實現成本削減
能夠根據粒子粒徑大小分階段進行過濾的三層結構,因此幾乎不會有堵塞的問題。并且與以往的過濾器相比,具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過濾器不會在使用過程中出現故障。所以不會因生產線暫時中斷而帶來經濟損失,并可長期持續地削減成本。
日本pureron高過濾精度陶瓷氣體過濾器PGFL系列
規格
過濾精度0.003μm(但是,純水過濾時は0.1μm)推薦流量20~400?/min(各型號區別:參考流量特性曲線)設計壓力17MPa (2,465PSIG) at20℃本產品全部經過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是,依據日本國內的高ya氣體保安法,高使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關于1MPa以上的高壓煤氣認定品,請詢問我們。常用壓力1MPa(145PSIG)未滿大容許差壓9.6MPa (1,392PSIG) at20℃高連續使用溫度120℃烘烤溫度200℃外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下構成材料外罩:SUS316L 內表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 元素:氧化鋁陶瓷(Al2O3) 密封圈:PTFE連接零件1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG?、其它
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